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空氣粒子濃度國際通用潔淨標準

日期:2020-07-31 09:30
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摘要:
空氣粒子濃度國際通用潔淨標準按(粒子個數/每立方米)

 國際通用潔淨標準

ISO14644-1

美國聯邦FED STD 209E

CLASS

0.1um

0.2um

0.3um

0.5um

1um

5um

CLASS

0.5um

1

10

2

 

 

 

 

 

 

2

100

24

10

4

 

 

 

 

3

1000

237

102

35

8

 

1

35.3

4

10000

2370

1020

352

83

 

10

353

5

100000

23700

10200

3520

832

29

100

3530

6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

1000

35300

7

 

 

 

352000

83200

2930

10000

353000

8

 

 

 

3520000

832000

29300

100000

3530000

9

 

 

 

35200000

8320000

293000

 

 


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